Οι τελευταίες εξελίξεις στον τομέα της Μικρο- και Νανο-ηλεκτρονικής και των Νανοτεχνολογιών παρουσιάστηκαν στο 3ο Διεθνές Συνέδριο Micro&Nano 2007, που διοργάνωσε το Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ 'Δημόκριτος', στις 18-21 Νοεμβρίου 2007, στην Αθήνα. Στο Συνέδριο συμμετείχαν 250 επιστήμονες από 23 διαφορετικές χώρες και παρουσιαστήκαν 205 επιστημονικά άρθρα, καλύπτοντας τα πεδία:
- Τεχνολογία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων πυριτίου
- Τεχνολογίες νανοσχηματοποίησης λεπτών υμενίων
- Τεχνολογία κατασκευής τρισδιάστατων σχημάτων πολυμερούς υλικού, χρησιμοποιώντας παλμικά λέιζερ
- Τεχνολογίες αισθητήρων και μικροσυστημάτων
- Διατάξεις και παθητικά στοιχεία ραδιοσυχνοτήτων
- Φωτονικές διατάξεις και σύζευξή τους με την ηλεκτρονική τεχνολογία
- Διατάξεις φωτοεκπομπής με ανόργανους ή οργανικούς ημιαγωγούς.
Κατά τη διάρκεια του Συνεδρίου, η Διευθύντρια του Ινστιτούτου Μικροηλεκτρονικής Δρ Α. Νασιοπούλου παρουσίασε τις εξελίξεις της Μικροηλεκτρονικής στην Ελλάδα, από τη δεκαετία του 1980 μέχρι σήμερα, ενώ τιμητική πλακέτα απονεμήθηκε στον καθηγητή Γιώργο Καμαρινό από το Πολυτεχνείο της Grenoble Γαλλίας για τη συνεισφορά του στα πρώτα στάδια της έρευνας στη χώρα μας.
Το Ινστιτούτο παρουσίασε τα σημαντικά αποτελέσματα της έρευνάς του στις τεχνολογίες των μικροσκοπικών αισθητήρων και των μικροηλεκτρομηχανικών ή νανοηλεκτρομηχανικών διατάξεων (ΜΕΜs/NEMs) με βάση το πυρίτιο ή άλλα υλικά. Πρόκειται για μικροσκοπικές έξυπνες συσκευές που μπορούν να ανιχνεύουν με μεγάλη ευαισθησία ένα φυσικό ή χημικό μέγεθος, ή βιολογικό στοιχείο, ενώ συνδυάζουν το αισθητήριο με το ηλεκτρονικό κύκλωμα ελέγχου και ανάγνωσης. Παρουσιάστηκαν διακόπτες ραδιοσυχνοτήτων, αισθητήρες πίεσης, ροής αερίων, σύστασης αερίων (αισθητήρες οσμών, αερίων περιβάλλοντος), βιομορίων (DNA, πρωτεϊνών), καθώς και σύγχρονες τεχνολογίες μικρορευστομηχανικών διατάξεων, με εφαρμογές στην ελεγχόμενη διοχέτευση φαρμάκων, σε μικροσκοπικές διατάξεις για χημικές ή βιολογικές αντιδράσεις (lab-on-a chip), κ.ά.
Στο Συνέδριο παρουσιάστηκε επίσης η καινοτόμος τεχνολογία του Ινστιτούτου για την κατασκευή βελτιωμένων ταλαντωτών με εφαρμογές σε αναλογικά ολοκληρωμένα κυκλώματα ραδιοσυχνοτήτων σε παγκόσμια κλίμακα. Η τεχνολογία αυτή χρησιμοποιεί τοπικά στο πυρίτιο υπόστρωμα χαμηλών απωλειών στις ραδιοσυχνότητες και, με κατάλληλο σχεδιασμό, κατασκευάζονται βελτιωμένοι ταλαντωτές συμβατοί με την υπόλοιπη τεχνολογία. Ο συντελεστής ποιότητας των ταλαντωτών διπλασιάζεται/τριπλασιάζεται, σε σχέση με αυτούς που κατασκευάζονται κατευθείαν στο υπόστρωμα πυριτίου, και, συνεπώς, οι ενεργειακές απώλειες μειώνονται ανάλογα. Δεδομένου ότι οι ταλαντωτές χρησιμοποιούνται πολλαπλώς στα κινητά τηλέφωνα, η νέα τεχνολογία μπορεί να καταλήξει σε συστήματα χαμηλότερης κατανάλωσης ισχύος για τον ίδιο βαθμό ευαισθησίας. Το όφελος είναι συνεπώς σημαντικό για τα βελτιωμένα φορητά συστήματα ασύρματης τηλεπικοινωνίας χαμηλότερης ισχύος.
Σημειώνεται πως το Ινστιτούτο ιδρύθηκε το 1985 και κατατάσσεται σήμερα στους σημαντικότερους ερευνητικούς φορείς Μικροηλεκτρονικής της Ευρώπης. Είναι ιδρυτικό μέλος του Ευρωπαϊκού Ινστιτούτου Νανοηλεκτρονικής, μέλος της Ευρωπαϊκής Πλατφόρμας Νανοηλεκτρονικής ENIAC και της σύμπραξης ευέλικτων εργαστηρίων Μικροηλεκτρονικής στην Ευρώπη. Το 2004 ιδρύθηκε η επιστημονική εταιρεία Micro&Nano και, το 2005, ο Σύνδεσμος Βιομηχανιών Μικροηλεκτρονικής ΕΝΕΒΗ (H-SIA: Hellenic Semiconductor Industry Association) που σήμερα απαριθμεί πάνω από 30 μέλη.